流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

制定
介绍 国家标准计划《流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

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审查

批准

发布

基础信息 计划号:20184311-T-469
制修订:制定
项目周期: 24个月
下达日期:2018-12-29
标准类型:方法
中国标准分类号:29.045
国际标准分类号:H82
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、无锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、无锡市计量测试院、乐山市产品质量监督检验所、洛阳中硅高科技有限公司、中节能太阳能科技(镇江)有限公司、集萃新材料研发有限公司、常州大学、福建省计量科学研究院、上海材料研究所、苏州博飞克分析技术服务有限公司
采标情况