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Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
| 介绍 | 国家标准计划《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布后6个月正式实施 |
| 项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
| 基础信息 | 计划号：20174085-T-469 |
| 制修订：制定 | |
| 项目周期： 24个月 | |
| 下达日期：2018-01-09 | |
| 标准类型：基础 | |
| 中国标准分类号：31.220 | |
| 国际标准分类号：L95 | |
| 组织起草部门：国家标准化管理委员会 | |
| 技术委员会：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | |
| 起草单位 | 中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司 |
| 采标情况 | |
