平板显示阵列用正性光阻材料测试方法

Test method of positive photoresist for manufacturing of flat panel display array

制定
介绍 国家标准计划《平板显示阵列用正性光阻材料测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20204091-T-469
制修订:制定
项目周期: 24个月
下达日期:2020-11-19
标准类型:方法
中国标准分类号:31.030
国际标准分类号:L90
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 京东方科技集团股份有限公司、上海彤程电子材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、阜阳欣奕华材料科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、福建泓光半导体材料有限公司
采标情况