氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定二次离子质谱法-Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry-中国标准在线服务网

Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

制定

介绍	国家标准计划《氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布后3个月正式实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20202918-T-469
	制修订：制定
	项目周期： 24个月
	下达日期：2020-08-07
	标准类型：方法
	中国标准分类号：77.040
	国际标准分类号：H17
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位	北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司
采标情况
采标情况