氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法-Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder

介绍	国家标准计划《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布后3个月正式实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20202827-T-469
	制修订：制定
	项目周期： 24个月
	下达日期：2020-08-07
	标准类型：方法
	中国标准分类号：77.040
	国际标准分类号：H17
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位	新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司
采标情况
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