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- GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
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标准简介
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适用范围:
本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单 (或合同)内容。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。
标准号:
GB/T 30652-2014
标准名称:
硅外延用三氯氢硅
英文名称:
Trichlorosilane for silicon epitaxial标准状态:
被代替-
发布日期:
2014-12-31 -
实施日期:
2015-09-01 出版语种:
中文简体
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