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【国家标准】 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置
本网站 发布时间:
2023-12-01
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标准简介
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适用范围:
本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。本文件适用于在真空或保护气氛下,采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置,其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。
标准号:
GB/T 10067.417-2023
标准名称:
电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置
英文名称:
Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations标准状态:
现行-
发布日期:
2023-05-23 -
实施日期:
2023-12-01 出版语种:
中文简体
起草人:
李留臣 余维江 李琨 曹姣 谢萍 张永武 李明科 赵然 潘燕萍 杨昆 周正星 李小杰 陈佩娴 金星宇 尹丹 段春芳 杨祯起草单位:
江苏星特亮科技有限公司、西安电炉研究所有限公司、安徽瑞驰新能源有限公司、河南天利热工装备股份有限公司、厦门晓讯新能源科技有限公司、成都粤海金半导体材料有限公司、州市乐萌压力容器有限公司、河北同光半导体股份有限公司、张家港市中亚特种变压器制造有限公司、西安慧金科技有限公司、株洲瑞德尔智能装备有限公司、中山市合硕高品电器有限公司、广东飞成新材料有限公司、西安福莱特热处理有限公司归口单位:
全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC 121)提出部门:
中国电器工业协会发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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