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- GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯
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标准简介
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适用范围:
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
标准号:
GB/T 43965-2024
标准名称:
电子级正硅酸乙酯
英文名称:
Electronic grade ethyl orthosilicate标准状态:
即将实施-
发布日期:
2024-04-25 -
实施日期:
2024-11-01 出版语种:
中文简体
起草人:
孙猛 金向华 赵俊莎 肖俊平 李楷东 吴怡然 曹可慰 赵斌 陶刚义 孙明璐 陈德义 冯琼华 向冲 王成 黄天次 万烨 张园园 郭树虎 戈士勇 戈烨铭 何珂 李冲合 甘俊 陈道伟 张明英起草单位:
金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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