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GB/T 42659-2023 表面化学分析　扫描探针显微术　采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准

【国家标准】表面化学分析　扫描探针显微术　采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准

本网站发布时间： 2024-03-01

GB/T 42659-2023
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在：
——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性；
——明确校准程序及验收条件的最低要求；
——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）；
——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）；
——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度；
——规定报告结果的要求。

基本信息

标准号：
GB/T 42659-2023
标准名称：
表面化学分析　扫描探针显微术　采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
英文名称：
Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
标准状态：
现行
发布日期：
2023-08-06
实施日期：
2024-03-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.040.40
中标分类号：
G04

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《表面化学分析　扫描探针显微术　采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
56 页
字数：
102 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
李伟蔡潇雨李适杨树明程碧瑶魏佳斯高思田
起草单位：
中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学
归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
提出部门：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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