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本文件描述了基于谐振微质量法获得纳米材料与气体界面作用热力学参数和动力学参数的方法，包括方法原理、仪器和设备、测试样品和试剂、测试方法、数据处理、测试报告。
本文件适用于热力学参数与动力学参数的测量，包括标准焓变（ΔH°）、标准熵变（ΔS°）、标准吉布斯自由能变（ΔG°）、活化能（Ea）等。

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本文件界定了纳米科技中与量子现象相关的术语和定义。
本文件适用于纳米科技，其中许多术语也适用于某些更大尺度的体系。
本文件未涵盖纳米科技中全部量子概念和现象，但涵盖了学术界、工业界等许多利益方公认的重要现象。
本文件旨在促进在工业界的组织和个体以及对其感兴趣的人员之间的交流。
注1： 传统物理学和量子物理学的一些术语见附录A。
注2： 纳米科技术语与实际应用和产品的对照关系见附录B。

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This standard specifies the instrumented nanoindentation test methods for measuring the indentation hardness and modulus of thin film.
This standard is applicable to thin film adhering to solid surface.The indentation direction is perpendicular to the sample surface.The depth range of indentation is usually manometers and can be also extended to several micrometers.

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This standard specifies the capability requirements and basic test methods for instrumented nanoindentation test instruments,also specifies the requirements for instrument calibration and inspection,indenter and reference materials,and the determined method of instrument compliance and indenter area function.This standard gives the data analysis methods for determining hardness and material parameters and cautions for use of indenter.
This standard is applicable to measure hardness and modulus etc.of various bulk materials and thin films.The range of the indentation depth is generally at nanoscale and can be also extended to several micrometers.

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本标准规定了对仪器化纳米压入试验用仪器的能力要求和试验的基本方法，还规定了对仪器校准和检验、压头、标准样品的要求，以及仪器柔度和压头面积函数的确定方法，并给出了确定硬度和材料参数所需的数据分析方法和压头使用的注意事项。
本标准适用于测试各种体材料和薄膜的硬度、模量等，其压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展至几微米。

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本标准规定了测试薄膜压入硬度和弹性模量的仪器化纳米压入试验方法。
本标准适用于附着在固体表面的薄膜。压入方向为垂直于试样表面方向，压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展至几微米。

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