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本文件描述了用电感耦合等离子体质谱技术测定石墨烯粉体中金属杂质含量的方法。本文件适用于石墨烯粉体中金属杂质的测定。其他碳基纳米材料,如碳纳米管、碳纤维、多孔炭等所含金属杂质的测定参照执行。
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本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。
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