本文件规定了电子级磷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。
本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。

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本文件规定了使用最少数目的校准用混合气体进行校准时，不同校准方式的具体要求和可接受条件。
本文件描述的方法适用于下列用途：
——用一个或两个校准用混合气体校准仪器；
——测定气体样品的组成；
——根据所用校准用混合气体组成的不确定度和测量过程引入的不确定度分量，评定气体样品组成的不确定度。
本文件描述的方法中使用物质的摩尔分数表示组成量，其他形式的量(如质量分数、体积分数或浓度) 也适用。

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本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了砷化氢的安全信息。
本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。

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本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了六氟化硫的安全信息。
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。

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本文件规定了电子用一氧化二氮的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了一氧化二氮的安全信息。
本文件适用于以工业一氧化二氮为原料提纯制得的电子用一氧化二氮。

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本文件规定了电子级氨的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。
本文件适用于工业液氨提纯制备的电子级氨。

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本标准规定了纯氧、高纯氧和超纯氧的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存等。 本标准适用于空气分离制取的和水电解制取的高纯度气态和液态氧，主要用于标准混合气的制备、科学研究、集成电路和半导体器件的生产以及其他对氧气纯度要求较高的领域。

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本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HCl。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。

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本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式：BF3。
相对分子质量：67.805（按2005年国际相对原子质量计算）。

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本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：PH3。
相对分子质量：33.99758（按2005年国际相对原子质量计算）。

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本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。

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本标准规定了气雾剂级正丁烷的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含正丁烷的原料，经过一定工艺处理得到的正丁烷，该产品主要用作气雾推进剂。 分子式：CH 3(CH 2) 2CH 3 相对分子质量：58.12（按2001年国际相对原子质量）

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本标准规定了气雾剂级异丁烷的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含异丁烷的原料，经过一定工艺处理得到的异丁烷，该产品主要用作气雾推进剂。

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本标准规定了气雾剂级丙烷的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含丙烷的原料，经过一定工艺处理得到的丙烷，该产品主要用作气雾推进剂。

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本文件规定了高纯二氧化碳的技术指标、检验规则、采样、标志、包装、储运、充装及安全警示的要求，描述了高纯二氧化碳的试验方法。
本文件适用于以工业二氧化碳、工业尾气、食品添加剂液体二氧化碳为原料经纯化制备的、纯度大于或等于99.99%(摩尔分数)的二氧化碳。

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