本文件规定了使用最少数目的校准用混合气体进行校准时，不同校准方式的具体要求和可接受条件。
本文件描述的方法适用于下列用途：
——用一个或两个校准用混合气体校准仪器；
——测定气体样品的组成；
——根据所用校准用混合气体组成的不确定度和测量过程引入的不确定度分量，评定气体样品组成的不确定度。
本文件描述的方法中使用物质的摩尔分数表示组成量，其他形式的量(如质量分数、体积分数或浓度) 也适用。

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本文件规定了电子级磷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。
本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。

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本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了砷化氢的安全信息。
本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。

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本文件规定了电子用一氧化二氮的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了一氧化二氮的安全信息。
本文件适用于以工业一氧化二氮为原料提纯制得的电子用一氧化二氮。

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本文件规定了电子级氨的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。
本文件适用于工业液氨提纯制备的电子级氨。

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本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了六氟化硫的安全信息。
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。

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本标准规定了用配备等离子发射检测器的气相色谱仪测定气体中微量组分的方法。本标准适用于高纯气、工业气、标准气等气体中氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氖、氩、氙、氪以及甲烷、苯等碳氢化合物组分的测定。测定范围为0.05×10-6~10×10-6（体积分数）。

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本标准规定了测定室内空气中挥发性有害有机物的SUMMA罐采样气相色谱/质谱法。本标准适用于住宅、办公建筑物、环境实验舱等空气中19种挥发性有机物（参见附录A）测定，及其他室内常见挥发性有机物（参见附录B）测定。其他室内环境空气中挥发性有机物的测定可参照本标准执行。

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本标准规定了采用紫外差分吸收光谱法测定气体中二氧化硫和氮氧化物的方法。本标准适用于标准气体、工业气体、环境空气等气体中二氧化硫和氮氧化物的测定。二氧化硫测定范围为0.2 mg/m3～5 000 mg/m3，一氧化氮测定范围为0.3 mg/m3～5 000 mg/m3，二氧化氮测定范围为2 mg/m3～5 000 mg/m3。

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本标准规定了制备校准混合气体所用原料的纯度分析要求，以及纯度数据在所制备的混合气体组成计算中的应用。

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本标准规定了工业氮的技术要求、检验方法以及包装、标志、贮运等。 本标准适用于由分离空气制取的气态氮或液态氮，主要用作保护气、置换气、低温储藏等。

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本标准规定了气体组分含量测量过程及结果相关的校准技术要求，包括测量标准、测量标准的取气、输气系统、比较法校准、计量设备的溯源性要求以及测量结果的不确定度。本标准适用于采用比较法对气体组分含量进行的测量。

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本文件规定了三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于以硼酸、氟化氢和发烟硫酸（或三氧化硫）为主要原料制得的三氟化硼。
本文件不适用于半导体制造用的三氟化硼。

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本文件规定了六氟丁二烯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业六氟丁二烯提纯制备的电子级六氟丁二烯。

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本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。

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