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本文件界定了电容薄膜真空计(CDG)的相关术语,规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数,描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG,并作为参考标准时的一个补充说明。
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本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
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本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。 本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。 其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
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