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本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。 本标准适用于压力在10-5Pa ~10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。
本标准适用于各种真空泵、真空机组和真空抽气系统。标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的处置过程中,与其相关的重要的危害性,详细规定了适用于真空泵设计、安装、运行、维修及拆卸过程中的安全要求。 本标准不适用于开放的系统下连续进行抽气及入口处的压力高于75 kPa(750 mbar)的泵,例如真空吸尘器、换气扇。 一些用于特殊场合的真空泵应符合与其应用相关的特殊标准规定。
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GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵最大允许压差的测量方法。 本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。
GB/T 25753的本部分规定了测量罗茨真空泵噪声的声学环境、测量仪器、泵的安装、负载和运行条件,以及声功率级的测量。 本部分适用于罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)。
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本标准规定了真空系统中用于控制气流或真空压力的真空阀门的漏率测试方法。适用于关闭后对于示漏气体密封漏率小于1×10-5 Pa·m3/s的真空阀门的漏率测试,也适用于阀体的漏率测试,可作为真空阀门检验的依据。本标准适用于真空阀门在允许操作压力范围、压差、烘烤温度、操作温度和寿命周期等规定技术条件下整个工作过程的漏率测试,在上述条件下阀门的测试漏率低于制造商给定的标称漏率。
本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求,每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作,适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。
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本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求,三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。
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本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语,及上述术语的定义。 本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流,以及编写相关技术文件和书刊。
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本标准规定了磁流体动密封件(以下简称密封件)技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、贮存和运输等。本标准适用于真空设备、中高压电气开关柜使用的磁流体动密封件以及其他类似旋转轴磁流体动密封件。
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