本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。
本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。
根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。
已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。
根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压力，直至大气压力。但是，本文件不适用于采用分流抽气技术的四极质谱仪。因此，本文件中四极质谱仪入口处的压力范围不超过1 Pa。
本文件未规定制造商或者经销商宜如何调整四极质谱仪的初始参数，这些初始参数主要用来提供一个准确的m/z、恒定的质量分辨本领或恒定的传输概率，这是设备的基本参数。反之，本文件默认有一个制造商提供的参数重调程序，使用者能在现场重新调整参数。该程序旨在确保四极质谱仪的特性参数均处于最优状态。
本文件旨在让使用者通过其四极质谱仪获得最佳的计量效果。调查得知，多数情

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本标准适用于各种真空泵、真空机组和真空抽气系统。标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的处置过程中，与其相关的重要的危害性，详细规定了适用于真空泵设计、安装、运行、维修及拆卸过程中的安全要求。
本标准不适用于开放的系统下连续进行抽气及入口处的压力高于75　kPa（750　mbar）的泵，例如真空吸尘器、换气扇。
一些用于特殊场合的真空泵应符合与其应用相关的特殊标准规定。

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本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5Pa ～10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。

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本标准规定了一种涡轮分子泵急停扭矩（破坏扭矩）的测试方法。此扭矩由轴流叶片或螺旋通道产生的气体冲力产生。导致分子泵破坏的主要破坏力是以转子轴线为中心的扭矩。其他可能发生的较小力和扭矩不在本标准范围内。
有两种破坏形式：碎泵急速跌落和转子刮蹭跌落，本标准均适用。涡轮分子泵和拖动分子泵可以使用相同的测试方法。

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本标准规定了真空系统中用于控制气流或真空压力的真空阀门的漏率测试方法。适用于关闭后对于示漏气体密封漏率小于1×10-5  Pa·m3/s的真空阀门的漏率测试，也适用于阀体的漏率测试，可作为真空阀门检验的依据。本标准适用于真空阀门在允许操作压力范围、压差、烘烤温度、操作温度和寿命周期等规定技术条件下整个工作过程的漏率测试，在上述条件下阀门的测试漏率低于制造商给定的标称漏率。

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本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

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本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

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本文件确立了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。
本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa~150 kPa的皮拉尼真空计。
当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对ISO 3567和ISO 27893的补充。
另外，本文件还描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。

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本文件界定了磁悬浮转子真空计(SRG)[2]-[4]相关的术语，规定了SRG所需参数，详细描述了在使 用这些真空计时的校准步骤和所需不确定度分量。本文件适用的压力上限为2 Pa。

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本标准规定了真空泵、真空阀门、挡板、阱、过滤器、真空管道及连接器，压力测量仪表、真空容器等八个部分的图形符号。 本标准适用于与真空技术有关的各种系统图。

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