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本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求,三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。
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本标准适用于各种真空泵、真空机组和真空抽气系统。标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的处置过程中,与其相关的重要的危害性,详细规定了适用于真空泵设计、安装、运行、维修及拆卸过程中的安全要求。 本标准不适用于开放的系统下连续进行抽气及入口处的压力高于75 kPa(750 mbar)的泵,例如真空吸尘器、换气扇。 一些用于特殊场合的真空泵应符合与其应用相关的特殊标准规定。
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本文件界定了电容薄膜真空计(CDG)的相关术语,规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数,描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG,并作为参考标准时的一个补充说明。
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本标准规定了用胶带粘贴检测真空镀膜膜层结合强度的测试方法,对试验工具、样本的采集要求和步骤、结果评估与评定等内容作了规定,适用于膜层与塑料基片之间的结合强度测试。 本标准适用于在10-4 Pa~10 Pa的压力范围内,用蒸发、溅射、离子镀等真空镀膜方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)和聚碳酸酯(PC)等塑料基片上制备金属膜层和非金属膜层,也适用于其他真空镀膜方法制备的膜层。
本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语,及上述术语的定义。 本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流,以及编写相关技术文件和书刊。
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本标准规定了磁流体动密封件(以下简称密封件)技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、贮存和运输等。本标准适用于真空设备、中高压电气开关柜使用的磁流体动密封件以及其他类似旋转轴磁流体动密封件。
本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择,适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。
本标准规定了一种涡轮分子泵急停扭矩(破坏扭矩)的测试方法。此扭矩由轴流叶片或螺旋通道产生的气体冲力产生。导致分子泵破坏的主要破坏力是以转子轴线为中心的扭矩。其他可能发生的较小力和扭矩不在本标准范围内。 有两种破坏形式:碎泵急速跌落和转子刮蹭跌落,本标准均适用。涡轮分子泵和拖动分子泵可以使用相同的测试方法。
本标准规定了差压式气密检漏仪的术语和定义、分类、结构与基本参数、试验条件、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于以差压传感器为感压元件检测被测物和基准物之间压力差来确定被测物是否存在泄漏和漏率大小的各类差压式气密检漏仪(以下简称检漏仪)。
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GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵零流量压缩比的测量方法。 本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。
GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵溢流阀压差的测量方法。 GB/T 25753的本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。本部分不适用于罗茨真空泵机组性能的极限压力和抽气速率的测量。
本标准规定了直角型阀门的尺寸,以使其能与GB/T 16709.1和GB/T 16709.2中规定的弯管安装尺寸相匹配。 本标准包括的直角型阀门都带有GB/T 16709.1、GB/T 16709.2和ISO 3669中规定的法兰。 ISO 3669列出的两个法兰系列: ——首选系列; ——次选系列。 本标准仅涵盖带有次选系列法兰的阀门。
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