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本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1（1×10-2 Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。
总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。
在许多实际应用中，只需确定总放气率。如果使用了灵敏度与气体种类有关的测试仪器，则总放气率以等效氮气放气率的形式给出。如果总放气率很高，为了改进样品材料，存在需要辨别干扰气体的种类和测定其放气率的情况。本文件涵盖上述两种情况。
放气产生的一些分子能够被表面吸附且滞留时间远长于总测试时间。这些分子不在直接路径上时，也不能被测试仪器检测到。这可认为是一种表面效应，采用表面分析研究远比这里考虑的常规放气率测量更加行之有效。同时，受紫外光或X射线照射从表面释放的分子，也不适用于本文件。
制定本文件是为了使放气率的测试方法标准化，使得在不同实验室和采用不同方法获得的测试值具有可比性。为此，对于本文件中规定的任一种方法，每种方法中最重要的参数可依据计量水平溯源到国际基本单位（SI）。
质量损失法是一种与气体种类无关的放气率测试方法，主要用于航天器及卫星材料的放气率测试。在可接受的测试时长范围内，质量损失法可测试的放气率（＞1×10-5 Pa·m3·s-1）明显高于常规高真空和超高真空组件的放气率。而且，由于天平不适于在真空环境下应用，考虑到真空室的重量，无法原位测试样品。因

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本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。
本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。
根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。
已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。
根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压力，直至大气压力。但是，本文件不适用于采用分流抽气技术的四极质谱仪。因此，本文件中四极质谱仪入口处的压力范围不超过1 Pa。
本文件未规定制造商或者经销商宜如何调整四极质谱仪的初始参数，这些初始参数主要用来提供一个准确的m/z、恒定的质量分辨本领或恒定的传输概率，这是设备的基本参数。反之，本文件默认有一个制造商提供的参数重调程序，使用者能在现场重新调整参数。该程序旨在确保四极质谱仪的特性参数均处于最优状态。
本文件旨在让使用者通过其四极质谱仪获得最佳的计量效果。调查得知，多数情

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GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵最大允许压差的测量方法。
本部分适用于抽速为30 L/s～20 000 L/s的罗茨真空泵（以下简称泵）。

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GB/T 25753的本部分规定了测量罗茨真空泵噪声的声学环境、测量仪器、泵的安装、负载和运行条件，以及声功率级的测量。
本部分适用于罗茨真空泵（以下简称罗茨泵）。

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本标准规定了使用在真空技术中的低、中、高真空设备所用固定法兰、活套法兰和卡钳法兰的尺寸。适用于低、中、高真空设备连接法兰。 该尺寸可以保证固定法兰、活套法兰和卡钳法兰之间的互换性。

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本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法，它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。

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本标准规定了真空泵发射噪声的测量方法以及标示，规定了进行测量时安装、负载和工作条件，规定了下列两项发射噪声测量表示方法: ——规定负载条件下的声功率级； ——规定负载条件下在工作位置上发射的声压级。 本标准适用于机械真空泵（以下简称泵）的噪声测量。

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本标准规定了蒸汽流真空泵泵液返流率和加热时间的测量方法。 本标准适用于下列蒸汽流真空泵：扩散泵、扩散喷射泵（以下简称为泵）。泵工作室温为（20±5）℃，泵工作液蒸汽压低于100 Pa。

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