本标准适用于各种真空泵、真空机组和真空抽气系统。标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的处置过程中，与其相关的重要的危害性，详细规定了适用于真空泵设计、安装、运行、维修及拆卸过程中的安全要求。
本标准不适用于开放的系统下连续进行抽气及入口处的压力高于75　kPa（750　mbar）的泵，例如真空吸尘器、换气扇。
一些用于特殊场合的真空泵应符合与其应用相关的特殊标准规定。

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本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1（1×10-2 Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。
总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。
在许多实际应用中，只需确定总放气率。如果使用了灵敏度与气体种类有关的测试仪器，则总放气率以等效氮气放气率的形式给出。如果总放气率很高，为了改进样品材料，存在需要辨别干扰气体的种类和测定其放气率的情况。本文件涵盖上述两种情况。
放气产生的一些分子能够被表面吸附且滞留时间远长于总测试时间。这些分子不在直接路径上时，也不能被测试仪器检测到。这可认为是一种表面效应，采用表面分析研究远比这里考虑的常规放气率测量更加行之有效。同时，受紫外光或X射线照射从表面释放的分子，也不适用于本文件。
制定本文件是为了使放气率的测试方法标准化，使得在不同实验室和采用不同方法获得的测试值具有可比性。为此，对于本文件中规定的任一种方法，每种方法中最重要的参数可依据计量水平溯源到国际基本单位（SI）。
质量损失法是一种与气体种类无关的放气率测试方法，主要用于航天器及卫星材料的放气率测试。在可接受的测试时长范围内，质量损失法可测试的放气率（＞1×10-5 Pa·m3·s-1）明显高于常规高真空和超高真空组件的放气率。而且，由于天平不适于在真空环境下应用，考虑到真空室的重量，无法原位测试样品。因

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本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。
本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。
根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。
已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。
根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压力，直至大气压力。但是，本文件不适用于采用分流抽气技术的四极质谱仪。因此，本文件中四极质谱仪入口处的压力范围不超过1 Pa。
本文件未规定制造商或者经销商宜如何调整四极质谱仪的初始参数，这些初始参数主要用来提供一个准确的m/z、恒定的质量分辨本领或恒定的传输概率，这是设备的基本参数。反之，本文件默认有一个制造商提供的参数重调程序，使用者能在现场重新调整参数。该程序旨在确保四极质谱仪的特性参数均处于最优状态。
本文件旨在让使用者通过其四极质谱仪获得最佳的计量效果。调查得知，多数情

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本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。

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本标准规定了磁流体动密封件（以下简称密封件）技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输等。本标准适用于真空设备、中高压电气开关柜使用的磁流体动密封件以及其他类似旋转轴磁流体动密封件。

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本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。

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本标准规定了一种涡轮分子泵急停扭矩（破坏扭矩）的测试方法。此扭矩由轴流叶片或螺旋通道产生的气体冲力产生。导致分子泵破坏的主要破坏力是以转子轴线为中心的扭矩。其他可能发生的较小力和扭矩不在本标准范围内。
有两种破坏形式：碎泵急速跌落和转子刮蹭跌落，本标准均适用。涡轮分子泵和拖动分子泵可以使用相同的测试方法。

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本标准规定了真空系统中用于控制气流或真空压力的真空阀门的漏率测试方法。适用于关闭后对于示漏气体密封漏率小于1×10-5  Pa·m3/s的真空阀门的漏率测试，也适用于阀体的漏率测试，可作为真空阀门检验的依据。本标准适用于真空阀门在允许操作压力范围、压差、烘烤温度、操作温度和寿命周期等规定技术条件下整个工作过程的漏率测试，在上述条件下阀门的测试漏率低于制造商给定的标称漏率。

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本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

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本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

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本标准规定了使用在真空技术中的低、中、高真空设备所用固定法兰、活套法兰和卡钳法兰的尺寸。适用于低、中、高真空设备连接法兰。 该尺寸可以保证固定法兰、活套法兰和卡钳法兰之间的互换性。

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本文件描述了机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。本文件适用于中真空或粗真空应用的机械增压泵,包括气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统。本文件涵盖了机械增压泵有别于常见容积真空泵的机械增压特性。最大容许压差（Δpmax）,有效压缩比（Keff），零流量压缩比（K0）和溢流阀压差（Δp1）是机械增压泵性能的特定参数。

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本文件定义了与热阴极电离真空计相关的术语，并规定热阴极电离真空计制造商要给出的具体参数，以及在操作这些仪表时，需要考虑的测量不确定度分量。原因如下。
a）　本文件更新了ISO 3529-3:1981中给出的一些术语和定义。
b）　热阴极电离真空计通常用作参考标准，本文件为适用的实验室明确规定了便于在高真空和超高真空下正确校准真空计的相关信息。使用电离真空计开展高真空和超高真空的可溯源压力测量时，适于在制造商说明书中引述含有真空计相关参数和特征的信息。
c）　本文件还列出了与电离真空计压力测量相关的重要的不确定度分量，也给出了这些不确定度分量的评估指南。对于某些当前或未来的真空计来说，不确定度分量的清单可能并不全面。
d）　将电离真空计用作参考标准时，本文件是对ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的补充。

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