本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。
本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。
本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
注： 本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。

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本标准规定了利用氦质谱法和升压法对真空系统的漏率进行测试的测试原理、仪器与设备、测试条件、测试程序、漏率测试中断处理、测试记录与测试报告。
本标准适用于真空系统（以下简称被检件）的漏率测试。

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本标准规定了航天器用真空热环境模拟试验设备技术要求、检验规则、标识、贮存、包装和运输。
本标准适用于工作压力1×10-2 Pa～1×10-4 Pa真空热环境模拟试验设备（以下简称设备）。

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本标准规定了真空泵发射噪声的测量方法以及标示，规定了进行测量时安装、负载和工作条件，规定了下列两项发射噪声测量表示方法: ——规定负载条件下的声功率级； ——规定负载条件下在工作位置上发射的声压级。 本标准适用于机械真空泵（以下简称泵）的噪声测量。

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本标准规定了蒸汽流真空泵泵液返流率和加热时间的测量方法。 本标准适用于下列蒸汽流真空泵：扩散泵、扩散喷射泵（以下简称为泵）。泵工作室温为（20±5）℃，泵工作液蒸汽压低于100 Pa。

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本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法，它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。

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本标准规定了使用在真空技术中的低、中、高真空设备所用固定法兰、活套法兰和卡钳法兰的尺寸。适用于低、中、高真空设备连接法兰。 该尺寸可以保证固定法兰、活套法兰和卡钳法兰之间的互换性。

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本标准规定了真空泵、真空阀门、挡板、阱、过滤器、真空管道及连接器，压力测量仪表、真空容器等八个部分的图形符号。 本标准适用于与真空技术有关的各种系统图。

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本文件描述了机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。本文件适用于中真空或粗真空应用的机械增压泵,包括气冷式机械增压泵及多级机械增压泵系统。本文件涵盖了机械增压泵有别于常见容积真空泵的机械增压特性。最大容许压差（Δpmax）,有效压缩比（Keff），零流量压缩比（K0）和溢流阀压差（Δp1）是机械增压泵性能的特定参数。

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本文件定义了与热阴极电离真空计相关的术语，并规定热阴极电离真空计制造商要给出的具体参数，以及在操作这些仪表时，需要考虑的测量不确定度分量。原因如下。
a）　本文件更新了ISO 3529-3:1981中给出的一些术语和定义。
b）　热阴极电离真空计通常用作参考标准，本文件为适用的实验室明确规定了便于在高真空和超高真空下正确校准真空计的相关信息。使用电离真空计开展高真空和超高真空的可溯源压力测量时，适于在制造商说明书中引述含有真空计相关参数和特征的信息。
c）　本文件还列出了与电离真空计压力测量相关的重要的不确定度分量，也给出了这些不确定度分量的评估指南。对于某些当前或未来的真空计来说，不确定度分量的清单可能并不全面。
d）　将电离真空计用作参考标准时，本文件是对ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的补充。

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GB/T 16709的本部分规定了R5系列，公称通径由10 mm到250 mm非烘烤型和非刀口法兰的真空管路的配件（弯管、T形管、十字管）的装配尺寸。

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GB/T 16709的本部分规定了公称通径由16 mm到200 mm刀口法兰的真空管路的配件（弯管、T形管、十字管）的装配尺寸。

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本指导性技术文件规定了压力范围从大气压低至10-13 Pa的真空系统中所使用的、固定或可旋转的、以螺栓连接和刀口型式的烘烤法兰尺寸。

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