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本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。 本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。
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本标准规定了使用在真空技术中的低、中、高真空设备所用固定法兰、活套法兰和卡钳法兰的尺寸。适用于低、中、高真空设备连接法兰。 该尺寸可以保证固定法兰、活套法兰和卡钳法兰之间的互换性。
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GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵最大允许压差的测量方法。 本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。
GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵零流量压缩比的测量方法。 本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。
GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵溢流阀压差的测量方法。 GB/T 25753的本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。本部分不适用于罗茨真空泵机组性能的极限压力和抽气速率的测量。
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本标准规定了容积真空泵水蒸气容限的一种气体转换测量方法。 本标准适用于直排大气,并且基础压力低于100 Pa的泵。
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