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GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件 现行 发布日期 :  2011-11-21 实施日期 :  2012-06-01

本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5Pa ~10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。

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GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵最大允许压差的测量方法。
本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。

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GB/T 25753的本部分规定了测量罗茨真空泵噪声的声学环境、测量仪器、泵的安装、负载和运行条件,以及声功率级的测量。
本部分适用于罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)。

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GB/T 4982-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分:夹紧型 现行 发布日期 :  2003-11-25 实施日期 :  2004-06-01

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GB/T 4983-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第2部分:拧紧型 现行 发布日期 :  2003-11-25 实施日期 :  2004-06-01

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GB/T 6071-2003 超高真空法兰 现行 发布日期 :  2003-10-29 实施日期 :  2004-05-01

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GB/T 19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分:极限压力的测量 现行 发布日期 :  2005-09-19 实施日期 :  2006-04-01

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GB/T 28786-2012 真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法 现行 发布日期 :  2012-11-05 实施日期 :  2013-03-01

本标准规定了用胶带粘贴检测真空镀膜膜层结合强度的测试方法,对试验工具、样本的采集要求和步骤、结果评估与评定等内容作了规定,适用于膜层与塑料基片之间的结合强度测试。
本标准适用于在10-4 Pa~10 Pa的压力范围内,用蒸发、溅射、离子镀等真空镀膜方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)和聚碳酸酯(PC)等塑料基片上制备金属膜层和非金属膜层,也适用于其他真空镀膜方法制备的膜层。

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本文件界定了电容薄膜真空计(CDG)的相关术语,规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数,描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG,并作为参考标准时的一个补充说明。

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GB/T 40333-2021 真空计 四极质谱仪的定义与规范 现行 发布日期 :  2021-05-21 实施日期 :  2021-12-01

本标准界定了四极质谱仪相关的术语,并规定了制造商说明书中需要的参数,用于正常的校准和分压力测量质量的保证。本标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比(m/z)小于300的物质。配有如化学电离、光电离、场致电离等其他类型的离子源,以及主要用于检测质荷比(m/z)大于300的特定有机物质的四极质谱仪,不在本标准适用范围内。

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GB/T 40344的本部分规定了三种体积流率测量方法,并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。  测量体积流率的第一种方法(流量法)是一种基础方法:向真空泵内注入稳定流量的气体,同时测量泵的入口压力。在实际测量中,气体流量的测量可能是复杂或不精确的。为此,规定了另两种方法,以避免直接测量流量。  测量体积流率的第二种方法(小孔法)适用于入口压力非常低(高真空或者超高真空)、流量非常小的情况。该方法是基于测量测试罩双测试室中的压力比。该测试罩由一个带圆孔的薄壁分隔成两个腔室。  测量体积流率的第三种方法(抽气法)是基于大型容器抽空的方法,非常适用于自动化测量。通过抽气间隔前后的两个压力值和测试罩的体积来计算体积流率。测量结果及最后得出的体积流率受不同条件影响,如漏率和放气率、抽气间隔过程中由于接近于等熵膨胀引起的气体冷却、低压分子流态下引起测试罩与真空泵之间连接管路的流阻增加。  测量方法的选择取决于特定种类真空泵的属性。例如,只有需要配备前级泵的真空泵才需要测量临界前级压力。所有未在本部分中规定的真空泵的测量参数(例如功耗的测量),在相应泵的标准中予以规定。

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GB/T 40344的本部分规定了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法,该容积真空泵是直接排大气且其基础压力通常低于10 kPa。本部分中,有必要使用GB/T 40344.1中规定的方法测定体积流率和基础压力。本部分同样适用于其他直接排大气的泵,例如牵引泵。

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