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GB/T 40333-2021 真空计 四极质谱仪的定义与规范 现行 发布日期 :  2021-05-21 实施日期 :  2021-12-01

本标准界定了四极质谱仪相关的术语,并规定了制造商说明书中需要的参数,用于正常的校准和分压力测量质量的保证。本标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比(m/z)小于300的物质。配有如化学电离、光电离、场致电离等其他类型的离子源,以及主要用于检测质荷比(m/z)大于300的特定有机物质的四极质谱仪,不在本标准适用范围内。

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GB/T 40344的本部分规定了三种体积流率测量方法,并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。  测量体积流率的第一种方法(流量法)是一种基础方法:向真空泵内注入稳定流量的气体,同时测量泵的入口压力。在实际测量中,气体流量的测量可能是复杂或不精确的。为此,规定了另两种方法,以避免直接测量流量。  测量体积流率的第二种方法(小孔法)适用于入口压力非常低(高真空或者超高真空)、流量非常小的情况。该方法是基于测量测试罩双测试室中的压力比。该测试罩由一个带圆孔的薄壁分隔成两个腔室。  测量体积流率的第三种方法(抽气法)是基于大型容器抽空的方法,非常适用于自动化测量。通过抽气间隔前后的两个压力值和测试罩的体积来计算体积流率。测量结果及最后得出的体积流率受不同条件影响,如漏率和放气率、抽气间隔过程中由于接近于等熵膨胀引起的气体冷却、低压分子流态下引起测试罩与真空泵之间连接管路的流阻增加。  测量方法的选择取决于特定种类真空泵的属性。例如,只有需要配备前级泵的真空泵才需要测量临界前级压力。所有未在本部分中规定的真空泵的测量参数(例如功耗的测量),在相应泵的标准中予以规定。

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GB/T 40344的本部分规定了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法,该容积真空泵是直接排大气且其基础压力通常低于10 kPa。本部分中,有必要使用GB/T 40344.1中规定的方法测定体积流率和基础压力。本部分同样适用于其他直接排大气的泵,例如牵引泵。

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GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵最大允许压差的测量方法。
本部分适用于抽速为30 L/s~20 000 L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。

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GB/T 25753的本部分规定了测量罗茨真空泵噪声的声学环境、测量仪器、泵的安装、负载和运行条件,以及声功率级的测量。
本部分适用于罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)。

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GB/T 28786-2012 真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法 现行 发布日期 :  2012-11-05 实施日期 :  2013-03-01

本标准规定了用胶带粘贴检测真空镀膜膜层结合强度的测试方法,对试验工具、样本的采集要求和步骤、结果评估与评定等内容作了规定,适用于膜层与塑料基片之间的结合强度测试。
本标准适用于在10-4 Pa~10 Pa的压力范围内,用蒸发、溅射、离子镀等真空镀膜方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)和聚碳酸酯(PC)等塑料基片上制备金属膜层和非金属膜层,也适用于其他真空镀膜方法制备的膜层。

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GB/T 3163-2024 真空技术 术语 现行 发布日期 :  2024-09-29 实施日期 :  2024-09-29

本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语,及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流,以及编写相关技术文件和书刊。

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GB/T 32292-2015 真空技术 磁流体动密封件 通用技术条件 现行 发布日期 :  2015-12-10 实施日期 :  2016-07-01

本标准规定了磁流体动密封件(以下简称密封件)技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、贮存和运输等。本标准适用于真空设备、中高压电气开关柜使用的磁流体动密封件以及其他类似旋转轴磁流体动密封件。

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GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择 现行 发布日期 :  2015-12-10 实施日期 :  2016-07-01

本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择,适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。

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GB/T 33638-2017 真空技术 涡轮分子泵 急停扭矩的测试 现行 发布日期 :  2017-05-12 实施日期 :  2017-12-01

本标准规定了一种涡轮分子泵急停扭矩(破坏扭矩)的测试方法。此扭矩由轴流叶片或螺旋通道产生的气体冲力产生。导致分子泵破坏的主要破坏力是以转子轴线为中心的扭矩。其他可能发生的较小力和扭矩不在本标准范围内。
有两种破坏形式:碎泵急速跌落和转子刮蹭跌落,本标准均适用。涡轮分子泵和拖动分子泵可以使用相同的测试方法。

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GB/T 19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分:极限压力的测量 现行 发布日期 :  2005-09-19 实施日期 :  2006-04-01

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GB/T 22360-2008 真空泵 安全要求 现行 发布日期 :  2008-08-28 实施日期 :  2009-10-01

本标准适用于各种真空泵、真空机组和真空抽气系统。标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的处置过程中,与其相关的重要的危害性,详细规定了适用于真空泵设计、安装、运行、维修及拆卸过程中的安全要求。
本标准不适用于开放的系统下连续进行抽气及入口处的压力高于75 kPa(750 mbar)的泵,例如真空吸尘器、换气扇。
一些用于特殊场合的真空泵应符合与其应用相关的特殊标准规定。

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