本文件描述了真空泵及其组件发射噪声的测量方法,主要包含下列两项:
——负载条件下的声功率级;
——负载条件下在工作位置上发射的声压级。
本文件规定了真空泵及其组件测量噪声时的声学环境、测量仪器、真空泵及其组件安装、负载和运行条件、测试报告,以及噪声发射值标示和验证的要求。
本文件适用于机械真空泵及其组件(以下简称泵)的噪声测量。本文件没有描述对倍频(程)带的分析,但是在与其有关联时,本文件同样适用。

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本标准适用于各种真空泵、真空机组和真空抽气系统。标准中列出了在真空泵的使用期间及随后的处置过程中，与其相关的重要的危害性，详细规定了适用于真空泵设计、安装、运行、维修及拆卸过程中的安全要求。
本标准不适用于开放的系统下连续进行抽气及入口处的压力高于75　kPa（750　mbar）的泵，例如真空吸尘器、换气扇。
一些用于特殊场合的真空泵应符合与其应用相关的特殊标准规定。

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本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。

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本标准规定了磁流体动密封件（以下简称密封件）技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输等。本标准适用于真空设备、中高压电气开关柜使用的磁流体动密封件以及其他类似旋转轴磁流体动密封件。

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本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。

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本标准规定了一种涡轮分子泵急停扭矩（破坏扭矩）的测试方法。此扭矩由轴流叶片或螺旋通道产生的气体冲力产生。导致分子泵破坏的主要破坏力是以转子轴线为中心的扭矩。其他可能发生的较小力和扭矩不在本标准范围内。
有两种破坏形式：碎泵急速跌落和转子刮蹭跌落，本标准均适用。涡轮分子泵和拖动分子泵可以使用相同的测试方法。

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本标准规定了真空系统中用于控制气流或真空压力的真空阀门的漏率测试方法。适用于关闭后对于示漏气体密封漏率小于1×10-5  Pa·m3/s的真空阀门的漏率测试，也适用于阀体的漏率测试，可作为真空阀门检验的依据。本标准适用于真空阀门在允许操作压力范围、压差、烘烤温度、操作温度和寿命周期等规定技术条件下整个工作过程的漏率测试，在上述条件下阀门的测试漏率低于制造商给定的标称漏率。

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本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

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GB/T 25753的本部分规定了测量罗茨真空泵噪声的声学环境、测量仪器、泵的安装、负载和运行条件，以及声功率级的测量。
本部分适用于罗茨真空泵（以下简称罗茨泵）。

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本标准规定了用胶带粘贴检测真空镀膜膜层结合强度的测试方法，对试验工具、样本的采集要求和步骤、结果评估与评定等内容作了规定，适用于膜层与塑料基片之间的结合强度测试。
本标准适用于在10-4 Pa～10 Pa的压力范围内，用蒸发、溅射、离子镀等真空镀膜方式在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)和聚碳酸酯(PC）等塑料基片上制备金属膜层和非金属膜层，也适用于其他真空镀膜方法制备的膜层。

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