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GB/T 40344.4-2025 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵 即将实施 发布日期 :  2025-08-01 实施日期 :  2025-11-01

本文件及GB/T 40344.1描述了涡轮分子泵的性能测量方法,适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括:
——带机械轴承或磁轴承的;
——带/不带附加牵引级或其他转子抽气级的;
——带一个或多个进气口的。
由于涡轮分子泵有前级泵支持,体积流率-入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能。同时,涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数。
下列内容用以补充确定其性能参数:
——涡轮分子泵的流量和前级压力;
——压缩比曲线(涡轮分子泵的压缩比-前级压力)。

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GB/T 45856-2025 真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 即将实施 发布日期 :  2025-08-01 实施日期 :  2025-11-01

本文件确立了皮拉尼真空计的参数,描述了其校准步骤,规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。
本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa~150 kPa的皮拉尼真空计。
当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时,本文件是对ISO 3567和ISO 27893的补充。
另外,本文件还描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。

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GB/T 34878-2017 真空技术 阀门 漏率测试 现行 发布日期 :  2017-11-01 实施日期 :  2018-05-01

本标准规定了真空系统中用于控制气流或真空压力的真空阀门的漏率测试方法。适用于关闭后对于示漏气体密封漏率小于1×10-5  Pa·m3/s的真空阀门的漏率测试,也适用于阀体的漏率测试,可作为真空阀门检验的依据。本标准适用于真空阀门在允许操作压力范围、压差、烘烤温度、操作温度和寿命周期等规定技术条件下整个工作过程的漏率测试,在上述条件下阀门的测试漏率低于制造商给定的标称漏率。

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GB/T 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法 现行 发布日期 :  2018-05-14 实施日期 :  2018-12-01

本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求,每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作,适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

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GB/T 36176-2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法 现行 发布日期 :  2018-05-14 实施日期 :  2018-12-01

本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求,三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

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GB/T 19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分:极限压力的测量 现行 发布日期 :  2005-09-19 实施日期 :  2006-04-01

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GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件 现行 发布日期 :  2011-11-21 实施日期 :  2012-06-01

本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5Pa ~10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。

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本文件界定了电容薄膜真空计(CDG)的相关术语,规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数,描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG,并作为参考标准时的一个补充说明。

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GB/T 4982-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分:夹紧型 现行 发布日期 :  2003-11-25 实施日期 :  2004-06-01

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GB/T 4983-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第2部分:拧紧型 现行 发布日期 :  2003-11-25 实施日期 :  2004-06-01

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GB/T 6071-2003 超高真空法兰 现行 发布日期 :  2003-10-29 实施日期 :  2004-05-01

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