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GB/T 3163-2024 真空技术 术语 现行 发布日期 :  2024-09-29 实施日期 :  2024-09-29

本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语,及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流,以及编写相关技术文件和书刊。

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GB/T 32292-2015 真空技术 磁流体动密封件 通用技术条件 现行 发布日期 :  2015-12-10 实施日期 :  2016-07-01

本标准规定了磁流体动密封件(以下简称密封件)技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、贮存和运输等。本标准适用于真空设备、中高压电气开关柜使用的磁流体动密封件以及其他类似旋转轴磁流体动密封件。

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GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择 现行 发布日期 :  2015-12-10 实施日期 :  2016-07-01

本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择,适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。

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GB/T 33638-2017 真空技术 涡轮分子泵 急停扭矩的测试 现行 发布日期 :  2017-05-12 实施日期 :  2017-12-01

本标准规定了一种涡轮分子泵急停扭矩(破坏扭矩)的测试方法。此扭矩由轴流叶片或螺旋通道产生的气体冲力产生。导致分子泵破坏的主要破坏力是以转子轴线为中心的扭矩。其他可能发生的较小力和扭矩不在本标准范围内。
有两种破坏形式:碎泵急速跌落和转子刮蹭跌落,本标准均适用。涡轮分子泵和拖动分子泵可以使用相同的测试方法。

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GB/T 34878-2017 真空技术 阀门 漏率测试 现行 发布日期 :  2017-11-01 实施日期 :  2018-05-01

本标准规定了真空系统中用于控制气流或真空压力的真空阀门的漏率测试方法。适用于关闭后对于示漏气体密封漏率小于1×10-5  Pa·m3/s的真空阀门的漏率测试,也适用于阀体的漏率测试,可作为真空阀门检验的依据。本标准适用于真空阀门在允许操作压力范围、压差、烘烤温度、操作温度和寿命周期等规定技术条件下整个工作过程的漏率测试,在上述条件下阀门的测试漏率低于制造商给定的标称漏率。

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GB/T 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法 现行 发布日期 :  2018-05-14 实施日期 :  2018-12-01

本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求,每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作,适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

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本文件界定了电容薄膜真空计(CDG)的相关术语,规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数,描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG,并作为参考标准时的一个补充说明。

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GB/T 4982-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分:夹紧型 现行 发布日期 :  2003-11-25 实施日期 :  2004-06-01

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GB/T 4983-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第2部分:拧紧型 现行 发布日期 :  2003-11-25 实施日期 :  2004-06-01

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GB/T 19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分:极限压力的测量 现行 发布日期 :  2005-09-19 实施日期 :  2006-04-01

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GB/T 25753的本部分规定了测量罗茨真空泵噪声的声学环境、测量仪器、泵的安装、负载和运行条件,以及声功率级的测量。
本部分适用于罗茨真空泵(以下简称罗茨泵)。

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