本文件规定了真空技术中常用的非刀口法兰的尺寸。
该尺寸确保了固定法兰、活套法兰和卡钳法兰之间的互换性：
a)　无论是同类型法兰的装配（如固定法兰或卡钳法兰）或者是不同类型法兰的装配（如固定法兰与卡钳法兰通过螺栓或卡钳装配，以及固定法兰与活套法兰通过螺栓装配）；
b)　无论与法兰配套使用的密封圈是弹性体“O”形密封圈还是金属密封圈，只要与附录C中规定的法兰线性密封载荷兼容即可。

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本文件规定了真空技术中常用的夹紧型快卸连接器尺寸，以及与夹紧型快卸连接器相配合的O形密封圈及其支架、卡箍和盲板的尺寸。
注：这里规定了夹紧型快卸连接器的通径尺寸，以确保夹紧型快卸连接器与ISO 1609［1］中对应的真空法兰尺寸相匹配。

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本标准规定了用胶带粘贴检测真空镀膜膜层结合强度的测试方法，对试验工具、样本的采集要求和步骤、结果评估与评定等内容作了规定，适用于膜层与塑料基片之间的结合强度测试。
本标准适用于在10-4 Pa～10 Pa的压力范围内，用蒸发、溅射、离子镀等真空镀膜方式在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)和聚碳酸酯(PC）等塑料基片上制备金属膜层和非金属膜层，也适用于其他真空镀膜方法制备的膜层。

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本文件界定了真空技术领域常用的基础术语、真空泵及相关术语、全压和分压真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空冶金术语，及上述术语的定义。
本文件适用于真空技术领域及相关的教学、科研、设计、制造、技术交流，以及编写相关技术文件和书刊。

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本标准规定了磁流体动密封件（以下简称密封件）技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输等。本标准适用于真空设备、中高压电气开关柜使用的磁流体动密封件以及其他类似旋转轴磁流体动密封件。

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本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行。

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本文件界定了电容薄膜真空计（CDG）的相关术语，规定了电容薄膜真空计有必要给定的参数，描述了其校准过程和操作仪器过程中有必要考虑的测量不确定度。本文件适用于使用ISO 3567和ISO 27893校准CDG，并作为参考标准时的一个补充说明。

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GB/T 25753的本部分规定了测量罗茨真空泵噪声的声学环境、测量仪器、泵的安装、负载和运行条件，以及声功率级的测量。
本部分适用于罗茨真空泵（以下简称罗茨泵）。

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本标准界定了四极质谱仪相关的术语，并规定了制造商说明书中需要的参数，用于正常的校准和分压力测量质量的保证。本标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比（m/z）小于300的物质。配有如化学电离、光电离、场致电离等其他类型的离子源，以及主要用于检测质荷比（m/z）大于300的特定有机物质的四极质谱仪，不在本标准适用范围内。

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GB/T 40344的本部分规定了三种体积流率测量方法，并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。  测量体积流率的第一种方法（流量法）是一种基础方法：向真空泵内注入稳定流量的气体，同时测量泵的入口压力。在实际测量中，气体流量的测量可能是复杂或不精确的。为此，规定了另两种方法，以避免直接测量流量。  测量体积流率的第二种方法（小孔法）适用于入口压力非常低（高真空或者超高真空）、流量非常小的情况。该方法是基于测量测试罩双测试室中的压力比。该测试罩由一个带圆孔的薄壁分隔成两个腔室。  测量体积流率的第三种方法（抽气法）是基于大型容器抽空的方法，非常适用于自动化测量。通过抽气间隔前后的两个压力值和测试罩的体积来计算体积流率。测量结果及最后得出的体积流率受不同条件影响，如漏率和放气率、抽气间隔过程中由于接近于等熵膨胀引起的气体冷却、低压分子流态下引起测试罩与真空泵之间连接管路的流阻增加。  测量方法的选择取决于特定种类真空泵的属性。例如，只有需要配备前级泵的真空泵才需要测量临界前级压力。所有未在本部分中规定的真空泵的测量参数（例如功耗的测量），在相应泵的标准中予以规定。

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GB/T 40344的本部分规定了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法，该容积真空泵是直接排大气且其基础压力通常低于10 kPa。本部分中，有必要使用GB/T 40344.1中规定的方法测定体积流率和基础压力。本部分同样适用于其他直接排大气的泵，例如牵引泵。

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本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1（1×10-2 Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。
总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。
在许多实际应用中，只需确定总放气率。如果使用了灵敏度与气体种类有关的测试仪器，则总放气率以等效氮气放气率的形式给出。如果总放气率很高，为了改进样品材料，存在需要辨别干扰气体的种类和测定其放气率的情况。本文件涵盖上述两种情况。
放气产生的一些分子能够被表面吸附且滞留时间远长于总测试时间。这些分子不在直接路径上时，也不能被测试仪器检测到。这可认为是一种表面效应，采用表面分析研究远比这里考虑的常规放气率测量更加行之有效。同时，受紫外光或X射线照射从表面释放的分子，也不适用于本文件。
制定本文件是为了使放气率的测试方法标准化，使得在不同实验室和采用不同方法获得的测试值具有可比性。为此，对于本文件中规定的任一种方法，每种方法中最重要的参数可依据计量水平溯源到国际基本单位（SI）。
质量损失法是一种与气体种类无关的放气率测试方法，主要用于航天器及卫星材料的放气率测试。在可接受的测试时长范围内，质量损失法可测试的放气率（＞1×10-5 Pa·m3·s-1）明显高于常规高真空和超高真空组件的放气率。而且，由于天平不适于在真空环境下应用，考虑到真空室的重量，无法原位测试样品。因

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