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均匀的试样作为辉光放电的阴极,其表面原子在氩离子的撞击下,从样品表面剥离下来(阴极溅射),进入负辉区,通过电子碰撞和彭宁碰撞转化成带电离子。随后待测元素的同位素离子被导入质谱仪,记录同位素离子谱峰强度。根据相对灵敏度因子计算得到待测杂质元素含量,通过差减法计算得到基体元素金、银、铂、钯的含量。

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