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本文件描述了长度和宽度小于1 mm、厚度在0.1 μm~10 μm 的薄膜材料的弯曲试验方法。薄膜作为主要结构材料用于微机电系统(MEMS)和微机械中。 作为微机电系统(MEMS)、微机械等器件中的主要结构材料,薄膜具有独特性,如尺寸为几微米,采用沉积、光刻等材料制备工艺,和/或非机械加工测试结构。本文件描述了微尺度光滑悬臂式测试结构的弯曲试验方法及测试结构形状,以保证与薄膜材料独特性相对应的测试精度。
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本文件描述了窗口薄膜的鼓胀测试方法。试样由微米/纳米结构薄膜材料制备,包括金属、陶瓷和聚合物等薄膜,用于微机电系统(MEMS)、微机械等领域。薄膜厚度范围为0.1 μm~10 μm。正方形和长方形窗口宽度范围0.5 mm~4 mm,圆形窗口直径范围0.5 mm~4 mm。 本文件适用于常温环境条件下,对窗口薄膜试样施加均匀压力进行弹性模量和残余应力测试。
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