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GB/T 44849-2024 微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法 现行 发布日期 :  2024-10-26 实施日期 :  2025-05-01

本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm~300 μm 金属膜材料成形极限的方法。
本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。

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GB/T 44919-2024 微机电系统(MEMS)技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法 现行 发布日期 :  2024-11-28 实施日期 :  2024-11-28

本文件描述了窗口薄膜的鼓胀测试方法。试样由微米/纳米结构薄膜材料制备,包括金属、陶瓷和聚合物等薄膜,用于微机电系统(MEMS)、微机械等领域。薄膜厚度范围为0.1 μm~10 μm。正方形和长方形窗口宽度范围0.5 mm~4 mm,圆形窗口直径范围0.5 mm~4 mm。
本文件适用于常温环境条件下,对窗口薄膜试样施加均匀压力进行弹性模量和残余应力测试。

定价: 49元 / 折扣价: 42 加购物车

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