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GB/T 42597-2023 微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪 现行 发布日期 :  2023-05-23 实施日期 :  2023-09-01

本文件规定了陀螺仪的术语和定义、额定值、性能参数及测量方法。
陀螺仪主要用于消费电子、工业和航空航天等。陀螺仪广泛采用MEMS和半导体激光器技术。

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本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。

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