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本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm~300 μm 金属膜材料成形极限的方法。 本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。
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本文件描述了窗口薄膜的鼓胀测试方法。试样由微米/纳米结构薄膜材料制备,包括金属、陶瓷和聚合物等薄膜,用于微机电系统(MEMS)、微机械等领域。薄膜厚度范围为0.1 μm~10 μm。正方形和长方形窗口宽度范围0.5 mm~4 mm,圆形窗口直径范围0.5 mm~4 mm。 本文件适用于常温环境条件下,对窗口薄膜试样施加均匀压力进行弹性模量和残余应力测试。
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