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GB/T 44842-2024 微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法 现行 发布日期 :  2024-10-26 实施日期 :  2024-10-26

本文件描述了长度和宽度小于1 mm、厚度在0.1 μm~10 μm 的薄膜材料的弯曲试验方法。薄膜作为主要结构材料用于微机电系统(MEMS)和微机械中。
作为微机电系统(MEMS)、微机械等器件中的主要结构材料,薄膜具有独特性,如尺寸为几微米,采用沉积、光刻等材料制备工艺,和/或非机械加工测试结构。本文件描述了微尺度光滑悬臂式测试结构的弯曲试验方法及测试结构形状,以保证与薄膜材料独特性相对应的测试精度。

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GB/T 44849-2024 微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法 现行 发布日期 :  2024-10-26 实施日期 :  2025-05-01

本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm~300 μm 金属膜材料成形极限的方法。
本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。

定价: 43元 / 折扣价: 37 加购物车

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