本文件描述了用安装在扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分,因此,本文件也包含这方面的内容。本文件描述了多种能谱法定量分析方法。
本文件适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1%的、原子序数Z>10的元素进行定量分析。
本文件也给出了对原子序数小于11的轻元素分析方法的信息。
注: 当没有重叠峰,并且相应的特征X射线被强烈地激发时,能谱仪也可以测量质量分数在0.1%水平的元素。本文件主要应用于表面平整试样的定量分析,基本方法也适用于表面不平整试样的分析,但会引入附加的不确定度分量。
目前没有公认的轻元素的准确能谱法(EDS)定量分析方法,以下是几种常用于轻元素分析的 EDS方法。
a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录 A 中所述的原因,这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。
b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素(Z>10)结合时,该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。
c) 通过差值法计算浓度,即用100% 减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用,并且还需要精确测定试样中的其他元素。
附录A总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪(WDS),可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。然而,许多其他问题对于这两种技术来说都是共同的。
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GB/T 20818的本部分规定了:
● 用于描述流量测量装置操作参数的操作属性列表(OLOP)和用于流量测量装置的要求集合;
● 用于描述不同流量测量装置类型的设备属性列表(DLOP)。
OLOP和DLOP的结构符合GB/T 20818.11-2018中定义的通用结构,并且符合GB/T 20818.10-2017中定义的构建LOPs的基本原则。
GB/T 20818.10-2017中描述的不同电子数据交换过程中所需的除OLOP以外的其他方面,将在IEC 61987-92中发布。
本部分适用于流量测量设备在电子数据交换过程中的属性描述。
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GB/T 20818的本部分规定了:
● 通用数据字典(CDD)中集合了各类自动阀,包括控制阀、自动开/关阀和过程调节器的特性描述;
● 符合IEC 6198710的最终控制元件的操作属性列表(OLOP)和设备属性列表(DLOP)的通用结构。
OLOP和DLOP的通用结构包含用于最终控制元件的最重要的块。特定设备类型的相关块在IEC 61987系列标准的其他部分中描述。与此类似,本部分中不涉及设备属性。例如,截止阀和角行程阀的OLOP和DLOP在IEC 61987-22中规定。
注: 在分类中(见图1),“最终控制元件”只有专门的自动阀和过程调节器。在实际中,还有其他专门的设备未在本部分中考虑。
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