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为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的,本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系(如各种掺杂层膜系)的使用不包括在本标准内。

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本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质(用注入硼的参考物质校准)确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×10 16 atoms/cm 3~1×10 20 atoms/cm3。

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GB/T 4930-1993 电子探针分析标准样品通用技术条件 被代替 发布日期 :  1993-08-30 实施日期 :  1994-07-01

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GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则 被代替 发布日期 :  1998-05-08 实施日期 :  1998-12-01

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GB/T 17363-1998 黄金制品的电子探针定量测定方法 被代替 发布日期 :  1998-05-08 实施日期 :  1998-12-01

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GB/T 17364-1998 黄金制品中金含量的无损定量分析方法 被代替 发布日期 :  1998-05-08 实施日期 :  1998-12-01

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GB/T 17365-1998 金属与合金电子探针定量分析样品的制备方法 被代替 发布日期 :  1998-05-08 实施日期 :  1998-12-01

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GB/T 17366-1998 矿物岩石的电子探针分析试样的制备方法 被代替 发布日期 :  1998-05-08 实施日期 :  1998-12-01

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GB/T 17723-1999 黄金制品镀层成分的X射线能谱测量方法 被代替 发布日期 :  1999-04-11 实施日期 :  1999-12-01

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GB 7667-2003 电子显微镜X射线泄漏剂量 废止 发布日期 :  2003-11-20 实施日期 :  2004-05-01

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GB/T 15075-1994 电子探针分析仪的检测方法 废止 发布日期 :  1994-05-09 实施日期 :  1994-12-01

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GB/T 15245-2002 稀土氧化物的电子探针定量分析方法 废止 发布日期 :  2002-11-11 实施日期 :  2003-06-01

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GB 7667-1996 电子显微镜X射线泄漏剂量 废止 发布日期 :  1996-08-13 实施日期 :  1996-12-01

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