本文件描述了用安装在扫描电镜（SEM)或电子探针（EPMA)上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数(百分数)表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本文件也包含这方面的内容。本文件描述了多种能谱法定量分析方法。
本文件适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1％的、原子序数Z>10的元素进行定量分析。
本文件也给出了对原子序数小于11的轻元素分析方法的信息。
注： 当没有重叠峰，并且相应的特征X射线被强烈地激发时，能谱仪也可以测量质量分数在0.1％水平的元素。本文件主要应用于表面平整试样的定量分析，基本方法也适用于表面不平整试样的分析，但会引入附加的不确定度分量。
目前没有公认的轻元素的准确能谱法（EDS)定量分析方法，以下是几种常用于轻元素分析的 EDS方法。
a) 测量峰面积并对比峰强度。如附录 A 中所述的原因，这种方法对轻元素分析结果的不确定度比重元素大。
b) 当已知试样中的轻元素以化学计量的方式与重元素（Z>10)结合时，该轻元素的浓度可以通过与其他元素的相关浓度比进行测定。这种方法通常用于硅酸盐矿物试样中氧的测定。
c) 通过差值法计算浓度，即用100％ 减去能够分析元素的总百分数即为轻元素的百分数。这种方法只有在很好的束流稳定性和单独测量至少一个参考样品的条件下才能够应用，并且还需要精确测定试样中的其他元素。
附录A总结了重元素存在时轻元素定量分析中的问题。如果仪器上安装了能谱仪和波谱仪（WDS)，可以用WDS来克服EDS分析中的低能量谱峰重叠问题。然而，许多其他问题对于这两种技术来说都是共同的。

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GB/T 17363的本部分规定了用电子探针波谱仪测定黄金制品中主元素含量的方法。
本部分适用于测定成分比较均匀的黄金制品。也适用于测定厚度大于3 μm的镀金或包金制品的表层金含量。
本部分不适用于成分不均匀或有镀层的黄金制品整体金含量的测定。

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本标准规定了透射电子显微镜X射线能谱分析生物薄标样的技术要求、检测条件和检测方法。 本标准适用于生物薄标样的透射电子显微镜X射线能谱分析。

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本文件旨在帮助理解分析仪器维护的原则和方法。本文件为分析仪器维护人员提供参考，同时为设定性能目标、提高可靠性策略和评价有效性方法，为其所需的组织、资源及系统提供了指导。
当关键指标确立了相应的测量手段后，才能有效地管理在线分析仪器。

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本文件规定了气相分子吸收光谱仪的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于基于特定的化学反应机理将被测物中的测定成分转化为气态分子，并根据气态分子的特征吸收光谱进行定量检测的气相分子吸收光谱仪（以下简称“仪器”）。

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本标准规定了电导电极的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于测定电解质溶液电导率(电阻率)的电导电极(以下简称电极)。

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本标准规定了pH缓冲溶液的种类、试剂、仪器和设备、制备步骤。
本标准适用于pH值测定用缓冲溶液(以下简称溶液)的制备。

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本标准规定了电导率测量用校准溶液制备用的试剂、仪器或设备、步骤、溶液的不确定度和溶液保存。
本标准适用于电导率仪、电导池常数校准用溶液（以下简称溶液）的制备。

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本标准规定了扫描电镜能谱仪化学成分定量分析相关参数的测定方法。
本标准适用于对扫描电镜中影响定量分析性能的相关参数和能谱仪基本参数的测定，并以元素成分定量分析结果对仪器做出综合分析。

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本标准规定了分析仪器质量检验规则。包括检验分类、检验分组、检验项目、抽样方案及判定规则。
本标准适用于分析仪器及仪器附件(以下简称仪器)的出厂检验、周期检验和型式检验。

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本标准规定了在线紫外/可见分光光谱分析仪的要求、试验方法、检验规则、包装、运输、贮存等。
本标准适用于波长范围在170 nm～780 nm内使用紫外/可见分光光谱分析技术测量气体(包括蒸气)、液体中一种或几种组分浓度的在线紫外/可见分光光谱分析仪（以下简称仪器）。

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本标准规定了在线气体分析器的要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于连续测量气体组分含量的在线气体分析器（以下简称仪器）。

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本标准规定了在线气体分析器的试验条件和试验方法。
本标准适用于连续测量气体组分含量的在线气体分析器（以下简称仪器）。

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本标准规定了红外线气体分析器的试验条件、试验项目和试验方法。
本标准适用于连续测定混合气体中某一组分或几种组分的不分光红外线气体分析器（以下简称仪器）。

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本标准规定了分析仪器常用的基本术语以及电化学式分析仪器、光学式分析仪器、热学式分析仪器、质谱仪器、波谱仪器、色谱仪器、能谱和射线分析仪器、物性分析仪器、其他分析仪器及其辅助装置的术语和定义。
本标准适用于分析仪器。
本标准中方括号［ ］内的字是在不致混淆情况下，可省略的词；圆括号( )内的字除说明外，为前者的同义语。

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