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T/SZNDIA 001-2025 等离子体微波电磁性能测试规范 现行 发布日期 :  2025-10-29 实施日期 :  2025-11-28

本文件规定了等离子体微波电磁性能测试的测试原理、测试条件、测试系统参数、测试方法、测试报告和测量不确定度。本文件适用于密闭放电等离子体腔室的电磁特性测试。

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