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1.范围、2.规范性引用文件、3.术语和定义、4.技术要求。
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本文件规定了半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管的术语和定义,分类和产品结构,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、贮存和运输。本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管制品,包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管(以下简称“石英玻璃炉管”),不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。
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本文件适用于采用风冷冷凝器、全封闭型电动机-压缩机、以创造室内舒适环境为目的、额定制冷量在14000W及以下、带新风及空气净化装置的空调(热泵)机组的生产、检验和销售,包含风管送风式空调(热泵)机组(简称:风管机)及多联式空调(热泵)机组(简称:多联机)。本文件不适用于房间空气调节器。其他类型空调机可参照使用。
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