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本标准规定了电子薄膜制备用高纯金属溅射靶材的纯度等级的定义方法、杂质含量分析方法、抽样规则及靶材纯度等级报告标准规范等内容。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯金属溅射靶材(以下简称靶材)。其他对纯度有较高要求的靶材纯度等级、杂质含量分析及报告规范也可参照使用。

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YS/T 126-2009 氧化铝生产专用设备能耗等级 现行 发布日期 :  2009-12-04 实施日期 :  2010-06-01

本标准规定了氧化铝生产专用设备单位产品的能耗等级指标和计算方法。
本标准适用于氧化铝生产专用设备石灰炉、熟料窑、单管预热高压釜溶出机组、管道化溶出系统、脱硅系统、管式蒸发器、降膜蒸发器、悬浮焙烧炉的单位产品能耗的计算与考核。

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YS 125-1992 重有色冶金炉窑等级 现行 发布日期 :  1992-09-19 实施日期 :  1993-03-01

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YS 127-1992 铝电解槽能耗等级 现行 发布日期 :  1992-04-20 实施日期 :  1992-09-01

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YS 126-1992 氧化铝生产专用设备能耗等级 现行 发布日期 :  1992-04-20 实施日期 :  1992-09-01

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