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本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围(质量分数)为0.000010%~0.10%
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本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为0.3μg/kg~100μg/kg,三氯化磷的测定范围为3μg/kg~100μg/kg
本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定,3种含碳化合物的测定范围均为0.1mg/kg~1000mg/kg
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