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本文件规定了半导体石英坩埚生产用高纯石英砂的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体石英坩埚生产用高纯石英砂。
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本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚。
本文件规定了多花色石英石板材产品生产过程中原料、生产、板材质量要求及检验方法、生产作业环境及废弃物处置。本文件适用于多花色石英石板材生产工艺。
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4型号及基本参数4.1型号标识4.2产品结构4.3基本参数5技术要求5.1尺寸偏差5.2外观质量5.3物理化学性能6试验方法6.1尺寸偏差6.2外观质量6.3杂质元素含量6.4抗析晶性6.5高温变形率7检验规则7.1检验分类7.2出厂检验7.3型式检验8标志、包装、运输和贮存8.1标志8.2包装8.3运输8.4贮存
本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂(成分:二氧化硅)为内层原料,采用电弧熔融法工艺生产,应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。
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本文件规定了车载用石英晶体谐振器(以下简称谐振器)的术语和定义、分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于车载仪器仪表、中控台、控制器等电子产品的表面贴装式石英晶体谐振器。
本文件规定了针状焦生产的电弧法熔融石英砂用高纯石墨棒的术语和定义、标记、技术要求、试验方法、检验规则及包装、运输和贮存。本文件适用于针状焦为原料生产的电弧法熔融石英砂用高纯石墨棒。
本文件规定了通信用石英晶体振荡器的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于无温度控制和无温度补偿的通信用表面贴装石英晶体振荡器(以下简称振荡器)。
本文件规定了石英锭托举装置用同轴双速减速机的术语和定义、技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于石英锭托举装置用同轴双速减速机的生产和检验。
本文件规定了半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管的术语和定义,分类和产品结构,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装、贮存和运输。本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管制品,包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管(以下简称“石英玻璃炉管”),不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。
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