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本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘(以下简称“网格盘”)的生产制造。
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本文件规定了半导体晶圆棒用锯切线电镀金刚石自动化生产装备的型号规格、结构与基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安装。本文件适用于基线线径不大于0.210mm的半导体晶圆棒用锯切线电镀金刚石自动化生产装备的生产与制造。
本标准适用于现有电镀企业、电镀专业园区的水污染物排放管理,以及新建、改建、扩建项目的环境影响评价、设计、竣工验收及其建成后的水污染物排放管理 本标准也适用于具有电镀、化学镀、化学转化膜等工艺设施的其他生产企业 本标准规定的水污染物排放控制要求适用于电镀企业、电镀专业园区直接或间接向其法定边界外排放水污染物的行为
本标准规定了广东省辖区内电镀企业、电镀专业园区的水污染物排放控制要求。 本标准适用于现有电镀企业、电镀专业园区的水污染物排放管理,以及新建、改建、扩建项目的环境影响评价、设计、竣工验收及其建成后的水污染物排放管理。 本标准也适用于具有电镀、化学镀、化学转化膜等工艺设施的其他生产企业。 本标准规定的水污染物排放控制要求适用于电镀企业、电镀专业园区直接或间接向其法定边界外排放水污染物的行为。
本文件适用于企业在发生危险化学品事故时企业的应急处置
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