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本文件规定了高纯度变压吸附制氮系统(以下简称“制氮系统”)的术语和定义、零部件、基本参数、设计条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于高纯度变压吸附制氮系统的生产、检验。
本文件适用于以精制棉或其他纤维素为原料,经碱化和醚化生产的凝胶温度范围为58℃~64℃的高纯度羟丙基甲基纤维素。
本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒(圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称,以下简称钢棒)的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸(直径、边长、厚度或对边距离,以下简称尺寸)不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒
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