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本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构,并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm~100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm~150 μm、深宽比为0.006 7~20。棱锥式针结构具有三个或四个面,其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大,并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。
本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。

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本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%,宽深比不低于1∶10,且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。

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本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。

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本文件规定了利用柱状试样测量微尺寸单元与衬底间黏结强度的试验方法。本文件适用于对衬底上宽度和厚度分别介于1 μm~1 mm的微结构进行黏结强度测试。MEMS 器件的微尺寸单元是由通过淀积、电镀、涂胶、光刻等工艺在衬底上制作出的层叠精细薄膜图形组成的。MEMS器件包含大量不同材料间的界面,在制造或使用过程中这些界面偶尔会发生分层。连接界面处的材料结合性决定了黏结强度,此外,界面附近的缺陷和残余应力会随工艺条件的变化而变化,极大地影响黏结强度。本文件规定了微尺寸单元的黏结强度试验方法,以便于优选MEMS器件的材料和工艺条件。由于组成MEMS器件的材料和尺寸范围非常广泛,用于测量微尺寸单元的仪器也未被全面推广,本文件没有对试样的材料、尺寸和性能做出特别限制。

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GB/T 25365的本部分规定了柴油机用电控共轨燃油喷射系统(机械部分)的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于汽车、工程机械、发电机及船用柴油机用电控共轨燃油喷射系统总成的机械部分(以下简称电控共轨系统)。

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GB/T 8496-2011 电视广播接收机电子式调谐器基本参数及测量方法 现行 发布日期 :  2011-10-31 实施日期 :  2012-02-01

本标准规定了电视广播接收机电子式调谐器的基本参数及测量方法。
本标准适用于电视广播接收机用甚高频/特高频(VHF/UHF)电子式调谐器。录像机用电子式调谐器也可参照使用。

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本标准规定了干热沙漠环境条件对内燃机电站的技术要求及试验方法。 本标准适用于干热沙漠气候条件下使用的各类内燃机电站。

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本文件中附加功能和安全要求适用于有大容量要求的基础机电继电器(非定时限有或无继电器),大容量要求如分断或短路能力,类似于低压电器设备。这些继电器包含了一个特定的设计(如磁吹弧)用来熄灭触点间产生的电弧,或使用GB/T 21711.1—2023未涵盖的绝缘配合(如触点腔体使用气体填充),或GB/T 21711.1—2023未涵盖的安全评估要求(如更高的负载)。
本文件对具备通用性能的大容量继电器定义了附加要求,这些继电器可用于智能电网、电动车辆和其他应用,例如用于电池充电/放电的切换,包括:
a) 电能储存系统;
b) 光伏能源系统;
c) 电动道路车辆和电动工程车辆;
d) 电力电子系统和设备;
e) 蓄电池和电池组;
f) 道路车辆。
通过指定的型式试验来验证满足本文件的要求。

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本文件规定了基于MEMS技术的车规级压力传感器的分类、基本要求、技术要求和试验方法。
本文件适用于基于MEMS技术的车规级压力传感器,其他压力传感器参照执行。

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GB/T 5013的本部分给出了橡皮绝缘电焊机电缆的技术要求。 每种电缆均应符合GB/T 5013.1规定的要求和本部分的特殊要求。

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GB/T 21711.201-2024 基础机电继电器 第2-1部分:可靠性 B10值验证程序 现行 发布日期 :  2024-03-15 实施日期 :  2024-07-01

本文件确立了对基础机电继电器有增加的可靠性验证要求时使用的可靠性试验程序。本文件对组装在符合规定的安全相关的机械控制系统中的继电器按IEC 62061和GB/T 16855.1-2018给出了详细规定。对于这种继电器,按本文件规定的试验能得出危险失效的B10值(B10D值)。

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