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【团体标准】 半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

本网站 发布时间： 2026-02-02
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适用范围：

本文件规定了半导体超纯聚合物过流部件污染物检测方法及表面粗糙度技术要求、数据整理与检测报告等。 本文件适用于超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)等聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测。

基本信息

  • 标准号：

    T/CHPSA YY005-2024 T/CMES 24021-2024

  • 标准名称：

    半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

  • 实施日期：

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

    21 千字

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

  • 起草单位：

  • 归口单位：

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    中国液压气动密封件工业协会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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