【团体标准】后OPC结果校验软件输出数据格式规范

本网站发布时间： 2025-04-23

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标准简介

本文件规定了OPC结果仿真验证软件建模的输出数据格式。本文件适用于晶圆制造领域，包括晶圆制造厂（涵盖存储和逻辑芯片制造）本身和对应的计算光刻软件支持单位。本标准应用于自0.18um技术节点开始，以及后续更先进工艺的所有节点中的相关工艺层次。随技术节点推进，标准需要涵盖更多技术要素。

起草人：
李思坤、钟政、孟晓东、施伟杰、陈钊、沈忱、周洁云、刘晓明、沈逸江、林薇、温松辑、王琦、陈岚、王亚丽
起草单位：
中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院微电子研究所、上海概伦电子股份有限公司、全芯智造技术有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、苏州培风图南半导体有限公司、墨研计算科学（南京）有限公司、深圳市海思半导体有限公司、北京华大九天科技股份有限公司、广东工业大学
归口单位：
上海电子设计自动化发展促进会
提出部门：
上海电子设计自动化发展促进会
发布部门：
上海电子设计自动化发展促进会

【团体标准】 后OPC结果校验软件输出数据格式规范