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【国外标准】 표면 화학 분석 — 이차 이온 질량분석법 — 실리콘 내에 균일하게 도핑된 붕소 원자 농도의 결정

本网站 发布时间： 2025-07-17
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标准简介标准简介

适用范围：

暂无

基本信息

  • 标准号：

    KS D ISO 14237

  • 标准名称：

    표면 화학 분석 — 이차 이온 질량분석법 — 실리콘 내에 균일하게 도핑된 붕소 원자 농도의 결정

  • 英文名称：

    Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry —Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-05-12

  • 实施日期：

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.40

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    22 页

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

  • 起草单位：

  • 归口单位：

  • 提出部门：

  • 发布部门：

  • 其它标准
  • 推荐标准

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