【团体标准】氧化镓单晶位错密度测试方法

本网站发布时间： 2025-12-16

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件规定了氧化镓单晶位错密度的测试方法。本文件适用于抛光加工后位错密度为0个/cm2～50000个/cm2的氧化镓单晶位错密度的测试，检测面为{100}、{010}、{001}面。

起草人：
刘莹莹、夏宁、张辉、董增印、李贺、徐光伟、周选择、王元刚、何云龙、叶建东、裴艳丽、张文瑞、杨德仁、金竹、齐红基、许照原、张道华、翟小林、周大顺、魏杰、王国鹏、杨伟锋、张晓东、胡继超、张赫之、梅增霞、袁俊、刘少煜、邹兆军、黄文海
起草单位：
杭州镓仁半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国科学技术大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、西安电子科技大学、南京大学、中山大学、甬江实验室、浙江大学、浙江大学杭州国际科创中心、杭州富加镓业科技有限公司、进化半导体有限公司、深圳平湖实验室、华润微电子有限公司、NEXTGO EPI UG、电子科技大学、安徽大学、厦门大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、镓创未来半导体科技(晋江)有限公司、大连理工大学、中国科学院东莞材料科学与技术研究院、湖北九峰山实验室、杭州芯创德半导体有限公司、西南大学、香港科技大学
归口单位：
中国电子材料行业协会
提出部门：
中国电子材料行业协会
发布部门：
中国电子材料行业协会

【团体标准】 氧化镓单晶位错密度测试方法