【团体标准】氧化锌铝磁控溅射靶材

本网站发布时间： 2023-11-06

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标准简介

本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。

起草人：
本标准主要起草人杨晔、周山山、何伟、兰品军、朱永明、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立红、宋云娜、张凤戈、夏黎海
起草单位：
本标准由宁波市标准化研究院牵头组织制定本标准主要起草单位宁波森利电子材料有限公司本标准参与起草单位宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标（北京）认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司、世泰科特种材料（太仓）有限公司（排名不分先后）
归口单位：
浙江省质量协会
提出部门：
浙江省质量协会
发布部门：
浙江省质量协会

【团体标准】 氧化锌铝磁控溅射靶材