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【团体标准】 电子工业用气体三氟化氮混合气

本网站 发布时间： 2024-05-09
  • T/CHBAS 54-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气（以下简称三氟化氮混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存和安全的要求。本文件适用于半导体电子工业领域。本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气，也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应，且不影响反应工艺的平衡气。

基本信息

  • 标准号：

    T/CHBAS 54-2024

  • 标准名称：

    电子工业用气体三氟化氮混合气

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-04-19

  • 实施日期：

    2024-04-19

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    殷越玲、崔雯、李旭、王星帅、柳彤、张净普、陈良、薛贺来

  • 起草单位：

    中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司

  • 归口单位：

    河北省标准化协会

  • 提出部门：

    河北省标准化协会

  • 发布部门：

    河北省标准化协会
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