【团体标准】电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统技术规程

本网站发布时间： 2025-12-06

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标准简介

本规程共分7章和1个附录，主要技术内容包括：总则、术语、基本规定、设计、安装与调试、检测与验收、运维与防护等。

起草人：
林海印张军委徐泽泉车玉伶温鑫王文龙沈葵厉晓华王兴宇段彦周顾凯凯蔡鹏鹏袁雪梅张伟王建华韩亚琳陈保红韩迪凯李璇杨文杰林海印张军委徐泽泉车玉伶温鑫王文龙沈葵厉晓华王兴宇段彦周顾凯凯蔡鹏鹏袁雪梅张伟王建华韩亚琳陈保红韩迪凯李璇杨文杰
起草单位：
主编单位：中国电子工程设计院股份有限公司参编单位：沃威沃水技术（中国）有限公司紫纯科技（上海）有限公司岛津企业管理（中国）有限公司上海天澈环境技术有限公司苏州曦龙净化设备有限公司上海信晨水处理设备有限公司清华大学深圳国际研究生院中芯国际集成电路制造（上海）有限公司英诺赛科（苏州）半导体有限公司芯恩（青岛）集成电路有限公司长江存储科技有限责任公司
归口单位：
中国工程建设标准化协会
提出部门：
中国工程建设标准化协会
发布部门：
中国工程建设标准化协会

【团体标准】 电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统技术规程