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- T/CASME 1828-2024 原子层镀膜设备
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适用范围:
本文件适用于原子层镀膜设备。
标准号:
T/CASME 1828-2024
标准名称:
原子层镀膜设备
英文名称:
Atomic layer deposition equipment标准状态:
现行-
发布日期:
2024-12-20 -
实施日期:
2024-12-30 出版语种:
起草人:
石磊、刘生忠、丁黎明、阮泽云、谢东、李世彬、刘亚峰、邓士锋、袁世豪、鲁林峰、魏展画、王明华、严克友、徐征、马昌期、骆群、杜敏永、肖作、曹越先、左传天、赵长海、张文君、谢立强、田成波、杨甫、许桂英、陈熙宁、陈德明、臧志刚、胡芹、尹海鹏、唐群委、王华昕、赵双易、陈坤、孙阳、段加龙、赵媛媛、吕键、梁素霞、安文珍、尧辉龙、梁磊、马显、陈雅琪、李云飞、郭靖、何春流起草单位:
杭州众能光电科技有限公司、中国科学院大连化学物理研究所、国家纳米科学中心、福莱特玻璃集团股份有限公司、杭州柯能新能源有限公司、浙江制能科技有限公司、苏州尚柔新能源有限公司、成都电子科技大学、东方日升新能源股份有限公司、上海安普态新能源有限公司、华侨大学、杭州炬晟光能科技有限公司、华南理工大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、重庆大学、中国科学技术大学、晶澳(扬州)太阳能科技有限公司、山东科技大学归口单位:
中国中小商业企业协会提出部门:
中国中小商业企业协会发布部门:
中国中小商业企业协会
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