【团体标准】 7N 光电子级超纯氨

本网站发布时间： 2023-11-06

T/ZZB 1373-2019
现行
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标准简介

适用范围：

本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式：NH3。相对分子质量：17.031（按2016年国际相对原子量）。

基本信息

标准号：
T/ZZB 1373-2019
标准名称：
7N 光电子级超纯氨
英文名称：
7N photoelectric class hyperpure ammonia
标准状态：
现行
发布日期：
2019-11-27
实施日期：
2019-12-31
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
71.100.20
中标分类号：
G86

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
本标准主要起草人：陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）
起草单位：
本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定本标准主要起草单位：海宁市英德赛电子有限公司本标准参与起草单位：浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）
归口单位：
浙江省质量协会
提出部门：
浙江省质量协会
发布部门：
浙江省质量协会

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