【团体标准】碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范

本网站发布时间： 2025-12-19

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标准简介

本文件适用于碳化硅晶体生长用途的碳化钽涂层产品，其制备工艺包含物理气相沉积、化学气相沉积或等离子喷涂等方法。

起草人：
曾玉林、张雨萌、赵世贵、闫永杰、马良来、李加飞、何怡、赵丽丽、彭宁、张自鼎、夏晓杰、石林、月日辉、周丽、丁雄杰、刘薇、李华、任国静、张亚栋
起草单位：
湖南泰坦未来科技有限公司、南通三责精密陶瓷有限公司、成都方大炭炭复合材料股份有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、湖南奕嘉新材料有限公司、宁夏东方钽业股份有限公司、湖南金欣科技有限公司、苏州清研半导体科技有限公司、广东广晟稀有金属光电新材料有限公司、广东天域半导体股份有限公司、华科盈飞（北京）数智科技有限公司、华兴中科标准技术（北京）有限公司、通标国华标准技术咨询（北京）有限公司
归口单位：
中国中小商业企业协会
提出部门：
中国中小商业企业协会
发布部门：
中国中小商业企业协会

【团体标准】 碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范