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【团体标准】 半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范

本网站 发布时间: 2025-04-23
  • T/CMES 39004-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围:

本文件规定了半导体晶圆制造智能工厂集成电路制造过程中生产物流调度涉及到的相关数据通用规范,包括架构、生产资源要求、基础数据模型、状态数据模型和物流调度业务过程数据模型。

基本信息

  • 标准号:

    T/CMES 39004-2024

  • 标准名称:

    半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范

  • 英文名称:

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2024-07-01
  • 实施日期:

    2024-08-01
  • 出版语种:

标准分类号

  • 标准ICS号:

    25.040.40
  • 中标分类号:

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

  • 字数:

  • 开本:

其他信息

  • 起草人:

    张洁、吴立辉、周亚勤、张朋、秦威、陈达、边旭、陈远明、吕凌志、缪小勇、张启华、吕佑龙、汪俊亮、郑小虎、丁司懿
  • 起草单位:

    东华大学、上海应用技术大学、上海交通大学、深圳优艾智合机器人科技有 限公司、上海轩田智能科技股份有限公司、上扬软件(上海)有限公司、通富微电子股份有限公司、 洪启集成电路(珠海)有限公司
  • 归口单位:

    中国机械工程学会
  • 提出部门:

    中国机械工程学会
  • 发布部门:

    中国机械工程学会