【团体标准】数字化无掩模激光直写光刻机

本网站发布时间： 2023-11-06

T/ZS 0344-2022
现行
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标准简介

适用范围：

前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4产品分类5工作环境6要求6.1外观、尺寸和重量6.2主要性能6.3安全要求6.4噪声7试验方法7.1试验条件7.2外观检查及尺寸、重量测量7.3性能试验7.4安全检查7.5噪声试验8检验规则8.1检验分类8.2出厂检验8.3型式检验8.4判定规则9标志、包装、运输、贮存9.1标志9.2包装9.3运输9.4贮存

基本信息

标准号：
T/ZS 0344-2022
标准名称：
数字化无掩模激光直写光刻机
英文名称：
Digital maskless laser direct imaging lithography machine
标准状态：
现行
发布日期：
2022-11-10
实施日期：
2022-11-17
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
31.260
中标分类号：
N38

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
陈超、敦士军、王鹏、尚小兵、唐战备、廖平强、零萍、王珺、朱培武、乔家亿、周绍平、简红、许贝贝、周国尊、康永印、陈锡媛、沈肖蓉
起草单位：
杭州新诺微电子有限公司、中山新诺微电子有限公司、安吉泰熙自动化有限公司、杭州欣俊哲科技有限公司、中山新诺科技股份有限公司、中国计量大学、浙江大学、普赛微科技(杭州)有限公司、纳晶科技股份有限公司
归口单位：
浙江省产品与工程标准化协会
提出部门：
浙江省产品与工程标准化协会
发布部门：
浙江省产品与工程标准化协会

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