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【团体标准】 晶圆清洗设备技术规范

本网站 发布时间： 2025-04-30
  • T/CIET 1104-2025
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了晶圆清洗设备的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及贮存。本文件适用于晶圆清洗设备。

基本信息

  • 标准号：

    T/CIET 1104-2025

  • 标准名称：

    晶圆清洗设备技术规范

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-03-19

  • 实施日期：

    2025-03-19

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.120.10

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    贺斌、聂羽、吴清、杨善、华斌、宋昌万、梁彦桂、李高飞、叶曲波、罗中平、徐菖松、刘岩、吴永利、汪贤峰、李泰、徐敬铭、包瑾、田添

  • 起草单位：

    盛美半导体设备（上海）股份有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、深圳洁盟技术股份有限公司、苏州智程半导体科技股份有限公司、拓思精工科技（苏州）有限公司、深圳市金泰瀛环保设备有限公司、科立盈智能装备科技（广州）有限公司、思恩半导体科技（苏州）有限公司、常熟市兆恒众力精密机械有限公司、通标中研标准化技术研究院(北京)有限公司、途邦认证有限公司

  • 归口单位：

    中国国际经济技术合作促进会

  • 提出部门：

    中国国际经济技术合作促进会

  • 发布部门：

    中国国际经济技术合作促进会
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