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【团体标准】 掩模准备数据格式

本网站 发布时间： 2025-11-07
  • T/EDASQUARE 025-2025
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规范了掩模准备数据输出文件格式及输出信息格式。本文件适用于晶圆制造领域掩模版生产与使用。

基本信息

  • 标准号：

    T/EDASQUARE 025-2025

  • 标准名称：

    掩模准备数据格式

  • 英文名称：

    Mask Composer Tool Output Data Standard

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-09-12

  • 实施日期：

    2025-09-12

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.200

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    李思坤、吴灿灿、陈岚、阚欢、周洁云、刘晓明、卓立文、孟晓东、沈逸江、邹宁睦

  • 起草单位：

    中国科学院上海光学精密机械研究所、上海概伦电子股份有限公司、中国科学院微电子研究所、杭州广立微电子股份有限公司、苏州培风图南半导体有限公司、北京华大九天科技股份有限公司、全芯智造技术有限公司、广东工业大学、南京大学

  • 归口单位：

    上海电子设计自动化发展促进会

  • 提出部门：

    上海电子设计自动化发展促进会

  • 发布部门：

    上海电子设计自动化发展促进会
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