【团体标准】电子大宗气体现场供气安全技术规范

本网站发布时间： 2025-09-16

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标准简介

本文件规定了电子大宗气体现场供气的总体要求、总平面布置、工艺系统、安全措施、消防措施、自动化监控系统、应急救援。本文件适用于为电子生产制造企业提供大宗气体（氮气、氢气、氧气、氩气、氦气、二氧化碳、压缩空气气体）的现场制气、供气站。

起草人：
陆岩柱、蒋瑱瑱、张鹏辉、何经余、周强、殷梓卿、江堃、钟小禹、韩谈婧、葛欣欣、吴禹强、谭燕、刘岩、吴永利、汪贤峰、贾国蕊、徐敬铭、包瑾、郭嫚丽
起草单位：
广州广钢气体能源股份有限公司、金宏气体股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、杭氧集团股份有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、长鑫科技集团股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司
归口单位：
中国国际经济技术合作促进会
提出部门：
中国国际经济技术合作促进会
发布部门：
中国国际经济技术合作促进会

【团体标准】 电子大宗气体现场供气安全技术规范