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【团体标准】 等离子体用射频电源技术规范

本网站 发布时间： 2025-04-23
  • T/CITS 159-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了等离子体用射频电源的产品分类、技术要求、设计要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。本文件适用于各种工业和科研等离子体应用场景。

基本信息

  • 标准号：

    T/CITS 159-2024

  • 标准名称：

    等离子体用射频电源技术规范

  • 英文名称：

    Technical specification of RF generator for plasma

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-10-22

  • 实施日期：

    2024-10-22

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.220.01

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    张新军、朱光辉、朱国俊、杨小春、金小越、李俊、吴林晟、周义兴、李贺、刘岩、吴永利、汪贤峰、时俊伟、徐敬铭、包瑾、徐琳

  • 起草单位：

    中国科学院合肥物质科学研究院、安徽曦融兆波科技有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、北京市科学技术研究院、成都德芯数字科技股份有限公司、上海交通大学、深圳市新凯来工业机器有限公司、江阴市天马电源制造有限公司、通标中恒标准化技术研究院（北京）有限公司

  • 归口单位：

    中国检验检测学会

  • 提出部门：

    中国检验检测学会

  • 发布部门：

    中国检验检测学会
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