【团体标准】半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法

本网站发布时间： 2025-09-18

T/CPSS 1018-2025
现行
定价：无文本 / 折扣价： 0 元
在线阅读

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

适用范围：

本文件规定了半导体制造等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告等技术内容。本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积制程工艺等应用场景中，输出中心频率为400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz、60MHz，功率范围小于10kW的半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试。

基本信息

标准号：
T/CPSS 1018-2025
标准名称：
半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法
英文名称：
Test methods for dynamic impedance of RF generator applied in semiconductor manufacturing plasma process
标准状态：
现行
发布日期：
2025-08-22
实施日期：
2025-08-23
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
19.080
中标分类号：
K80

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
乐卫平、林伟群、黄永镇、张桂东、高飞、张赛谦、郭东、王佳航、汪昌州、朱建明、朱刚毅、孙桂红、梁红、陈立、潘振强、李志荣、梁洁、冼健威、李国强、汪洪亮
起草单位：
深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司、上海陛通半导体能源科技股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、广东腾胜科技创新有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、广东振华科技股份有限公司、广东汇成真空科技股份有限公司、上海邦芯半导体科技有限公司、东莞市晟鼎精密仪器有限公司、湖南玉丰真空科学技术有限公司、湖南大学
归口单位：
中国电源学会
提出部门：
中国电源学会
发布部门：
中国电源学会

其它标准

上一篇： T/SPPHN 005-2025 氟氯氨草酯防治非耕地抗性杂草技术规程
下一篇： T/CPSS 1017-2025 脉冲电压下固体绝缘材料真空沿面电气强度试验方法

推荐标准

中国标准在线服务网

【团体标准】 半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法