【团体标准】 MOCVD设备托盘感应加热系统技术规范

本网站发布时间： 2025-02-22

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标准简介

本文件规定了MOCVD设备托盘感应加热系统（以下简称“感应加热系统”）的技术要求和试验方法。本文件适用于感应加热系统的研发、制备、测试分析及其评价。

标准号：
T/CSA 092-2024
标准名称：
MOCVD设备托盘感应加热系统技术规范
英文名称：
MOCVD equipment—Susceptor induction heating system—Technical specification
标准状态：
现行
发布日期：
2024-11-21
实施日期：
2024-11-21
出版语种：

起草人：
李勇志、郭世平、金文彬、姜勇、徐圆圆、余湛、刘建明、朱佰喜、陈兆营、涂逵、陈福鸽、刘强、胡国新、陆文强、李本亮、徐苏楠
起草单位：
中微半导体设备（上海）股份有限公司、中关村半导体照明联合创新重点实验室、厦门三安光电有限公司、东莞市志橙半导体材料有限公司、北京大学、晶能光电股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、中国科学院半导体研究所、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国计量大学、广东省东莞市质量监督检测中心
归口单位：
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）
提出部门：
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）
发布部门：
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）

T/CSA 092-2024