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【团体标准】 晶圆测试企业MES成熟度评价指标

本网站 发布时间： 2025-04-23
  • T/ZHIA 3-2024
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了晶圆测试企业MES成熟度评价指标的构成原则、评价指标、评价方法，以及评价分值。本文件适用于晶圆测试企业制造执行系统的开发与成熟程度评价。

基本信息

  • 标准号：

    T/ZHIA 3-2024

  • 标准名称：

    晶圆测试企业MES成熟度评价指标

  • 英文名称：

    Wafer testing enterprise MES maturity evaluation indicators

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-12-20

  • 实施日期：

    2025-01-01

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    37.100.01

  • 中标分类号：

    A17

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    吴俊、王东玉、袁志伟、周小凤、向宏阳、潘志华、翁春立、刘元才、唐振中、龚诗雅、廖实玲、刘韵、乔宝良

  • 起草单位：

    珠海市中芯集成电路有限公司、珠海芯业测控有限公司、珠海泰芯半导体有限公司、珠海鼎和质量发展有限公司

  • 归口单位：

    珠海市信息协会

  • 提出部门：

    珠海市信息协会

  • 发布部门：

    珠海市信息协会
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